外延的新型铁电膜掺镧钛酸铋的制备及性能研究

掺镧钛酸铋是一种新型的有重要应用前景的铁电薄膜材料，不仅抗疲劳性能好，而且有较大的剩余极化强度和较低的成相温度。本项目拟对其外延膜（尤其是外延超薄膜）进行制备、集成和性能研究—包括其介电、铁电性能参数与膜厚的标度行为，不同电极及界面对其铁电性能的影响等。该项目的完成将为其在高集成度集成铁电学领域的应用提供重要依据。