薄膜型三氧化二铝基气敏材料及传感器研究
基本信息
批准号：50172032
项目类别：面上项目
资助金额：20.00
负责人：余萍
学科分类：
依托单位：四川大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：马宗复,张林,张文,王洪涛,袁小武,赁敦敏,鄢洪建,于光龙,杨志华
关键词：
气敏传感器薄膜传感器材料三氧化二铝
结项摘要
半导体陶瓷气体传感器是应用量大面广的基础器件。本组发明了拥有自主知识产权的Al2O3沾善舨牧咸逑岛托滦推羝骷峁梗兄屏硕嘀中阅苡帕嫉钠舸衅鳌１鞠钅坷媒ι洹⑷芙?凝胶等技术研制薄膜型Al2O3基气敏材料和功耗低、一致性好、驰豫时间短的气羝骷叩湫偷脑赐反葱滦停徊教岣卟牧虾推骷阅埽刮夜孟钛芯烤庸是傲小
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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