表面动态过程及表面能量学的高温快速STM研究

利用STM这种具有原子尺度分辨率的有力工具，对金属/半导体系统进行了系统研究，对半导体表面的各种动态过程进行了原子尺度的研究。研究的主要方法是利用快速STM对金属半导体系统进行表面形貌和能量学的分析和测试。研究结果表明，对硅，锗半导体表面，除其低指数表面是稳定的以外，某些高指数表面也是稳定的。这对于半导体器件的设计和制造具有指导意义。另外，我们发现许多金属/半导体系统的稳定表面是由许多小面构成的，即小面化过程，这些亚稳或不稳定 搞指数小面构成了稳定的金属/半导体表面。根据目前科技发展的动态，我们在课题的研究中增加了纳米结构，纳米加工和纳米器件的研究内容。对实验设备进行了相应的改造。