超声波悬浮技术是利用声场中的辐射压力与物体的重力相平衡时,物体没有明显的机械支撑而使其悬浮在声场中。本项目研究出具有PLL频率自动跟踪系统、恒振幅控制系统的发生器;用有限元法设计出由纵向振动驱动的振动悬浮板,通过实验测试,共振频率与设计值的偏差<5%,振动位移分布80%。辐射面积为600cm(2),振动位移与悬浮物体重量及体积成正比关系。该成果可用于IC硅片的悬浮传输、材料的提纯、生物工程等,可避免与容器接触,提高纯度。本项目研究成果的一部分已应用于超声波清洗、塑料超声熔焊等,绿色非ODS超声波清洗系统研究,已列为国家自然科学基金委重点推广项目。发表论文8篇,其中SCI收录2篇,EI收录1篇。申请获准专利2项。
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数据更新时间:2023-05-31
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