表面等离子体光学光刻原理和方法研究
基本信息
批准号：60507014
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：26.00
负责人：罗先刚
学科分类：
依托单位：中国科学院光电技术研究所
批准年份：2005
结题年份：2008
起止时间：2006-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：姚汉民,史浩飞,陈兴俊,徐文祥,朱少丽
关键词：
分辨力表面等离子体波纳米光刻
结项摘要
采用色散媒质的矢量电磁场计算理论，结合表面等离子体波的局域特性，建立加工任意图形的掩模结构的逆向设计方法，并设计出相应的光刻掩模；分析在长波长光的照射下，所设计出的掩模上表面等离子体波对出射光场分布的调制情况。研究利用传统光刻技术和电子束工艺制作金属掩模的工艺。通过g线曝光光源激发等离子体波，结合g线光刻胶，探索观察等离子体波对光刻胶的作用机理、感光特性、光刻图形的对比度、侧壁陡度、分辨率、及光刻
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
基于一维TiO2纳米管阵列薄膜的β伏特效应研究
基于一维TiO2纳米管阵列薄膜的β伏特效应研究
DOI：10.7498/aps.67.20171903
发表时间：2018
2
采用深度学习的铣刀磨损状态预测模型
采用深度学习的铣刀磨损状态预测模型
DOI：10.3969/j.issn.1004-132x.2020.17.009
发表时间：2020
3
瞬态波位移场计算方法在相控阵声场模拟中的实验验证
瞬态波位移场计算方法在相控阵声场模拟中的实验验证
DOI：
发表时间：2020
4
上转换纳米材料在光动力疗法中的研究进展
上转换纳米材料在光动力疗法中的研究进展
DOI：
发表时间：2017
5
家畜圈舍粪尿表层酸化对氨气排放的影响
家畜圈舍粪尿表层酸化对氨气排放的影响
DOI：10.13930/j.cnki.cjea.181086
发表时间：2019
罗先刚的其他基金
批准号：61138002
批准年份：2011
资助金额：280.00
项目类别：重点项目
相似国自然基金
1
局域表面等离子体纳米光刻研究
批准号：60678035
批准年份：2006
负责人：杜春雷
学科分类：F0508
资助金额：33.00
项目类别：面上项目
2
7nm节点表面等离子体光刻与自对准图形技术混合制造方法研究
批准号：61875202
批准年份：2018
负责人：高平
学科分类：F0502
资助金额：69.00
项目类别：面上项目
3
基于金属纳米缝结构的可调性表面等离子体激元干涉光刻方法研究
批准号：61505038
批准年份：2015
负责人：董建杰
学科分类：F0508
资助金额：21.00
项目类别：青年科学基金项目
4
基于片上可重构超构表面的光学相控扫描原理和方法研究
批准号：61875253
批准年份：2018
负责人：郭迎辉
学科分类：F0513
资助金额：63.00
项目类别：面上项目