电子束抗蚀剂Calixarence的特性及其在纳米尺度电子束光刻中的应用研究
基本信息
批准号：60506008
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：7.00
负责人：任黎明
学科分类：
依托单位：北京大学
批准年份：2005
结题年份：2006
起止时间：2006-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：许晓燕,于民,冀会辉,周毅,田豫,安霞,周发龙
关键词：
MonteCalixarene电子束光刻纳米尺度感应耦合Carlo模拟
结项摘要
纳米尺度图形的制备是纳米特征尺寸集成电路及器件研制的基础和关键。新型电子束抗蚀剂Calixarene具有非常好的应用前景，在纳米尺度图形加工中将发挥积极作用。然而目前国际上关于Calixarene在电子束光刻及刻蚀技术中的理论与实验研究尚不多见，国内尚未见有使用的报导。本课题将在深入研究Calixarene的物理与化学性能、弄清电子束与其相互作用机理的基础上，建立适用于纳米尺度电子束光刻的电子散射
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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