无铅铁电薄膜的制备及其印记和保持性能研究

铋层状钙钛矿结构铁电薄膜因其具有无铅无疲劳等优良特性，成为当前颇受关注的铁电材料。困扰铁电薄膜应用的突出问题是其疲劳、印记失效和保持性能差等可靠性问题。其中对于疲劳的形成机理研究得较多,对其机理有一定的了解，也提出了一些初步的解决方法，但对于印记失效和保持性能目前研究得较少，对失效和保持性能损失的机理还不太清楚，更没有找到行之有效的解决办法，特别是对于新型无铅铁电薄膜的印记失效和保持性能的研究还未得到足够的重视。本申请项目一方面从实验上建立铋层状钙钛矿结构无铅铁电薄膜制备工艺参数与印记失效和保持性能损失的关联。另一方面从理论上尝试把铋层状钙态矿结构无铅铁电薄膜的印记失效和保持性能损失统一起来进行综合研究，将薄膜的制备工艺参数及条件对印记失效和保持性能的影响，统一归并到电导率一个参数，建立相应的理论分析模型。综合实验和理论分析结果，提出印记失效和保持性能损失的形成机制和失效准则。