集成真空微电子触觉传感器阵列新技术研究
基本信息
批准号：69585008
项目类别：专项基金项目
资助金额：12.00
负责人：温志渝
学科分类：
依托单位：重庆大学
批准年份：1995
结题年份：1998
起止时间：1996-01-01 - 1998-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：林鹏,何清义,罗启泉,胡松,王晓兰
关键词：
微细加工技术触觉传感器真空微电子
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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