水窗波段生物样品的正入射显微成像研究

短波长软X射线多层膜是当前国际软X射线光学研究的难点。根据已有的设计理论，完成了水窗波段正入射多层膜的设计和性能模拟。得到了精度要求。根据国内的发展和课题中聚光镜的要求，重点研究了80nm正入射Mo/B4C多层膜。先后解决了镀膜材料的最小成膜厚度、工作气压、靶材与基片间距离、溅射功率等影响多层膜性能的问题，经X射线小角衍射测试斑点证明，多层膜样品周期结构清晰，实际周期与设计值极为接近，制备的样品用于X光激光。用接触式显微术研究了生物样品，实验中精确测定了X光光到胶溶解速率和曝光量间的定量关系。设计了生物样品成像模型，经光到胶曝光显影后确定了在一定配比显影液中的较佳显影时间。用此方法观察了许多生物样品。