高分辨、高纵宽比光刻材料与刻蚀技术的研究

基本信息
批准号:59473013
项目类别:面上项目
资助金额:9.50
负责人:洪啸吟
学科分类:
依托单位:清华大学
批准年份:1994
结题年份:1997
起止时间:1995-01-01 - 1997-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:刘建,游凤祥,阴金香,卢建平,毛应群,吴兵,李元昌
关键词:
无显影气相光刻化学增强作用微电子材料
结项摘要

床面泥沙上扬的定量化是解决泥沙运动力学及其工程应用领域若干基本问题的一大障碍。已有方法强裂依赖于经验,局限性明显。湍流相干结构主要表面为湍流猝发过程中的扫掠和喷射等一系列拟序事件,交配着床面泥沙的上扬与悬浮。基于这一力学机理,本项研究首次构造了光滑和沙波床面上泥沙上扬通量的理论模式。将其应用于建立明渠水流挟沙力的理论模型和泥沙数学模型近底边界条件,已为大量实测料所证实。另外,发现了悬移质泥沙对湍流结构的影响和泥沙粒径与湍流尺度的相对大小之间存在明显一致的规律。这一系列成果已发表在本领域权威学术刊物上,不仅为传统的、强烈依赖于经验的泥沙研究开辟了新方向,而且可直接应用于工程泥沙实践。

项目摘要

项目成果
{{index+1}}

{{i.achievement_title}}

{{i.achievement_title}}

DOI:{{i.doi}}
发表时间:{{i.publish_year}}

暂无此项成果

数据更新时间:2023-05-31

其他相关文献

1

多能耦合三相不平衡主动配电网与输电网交互随机模糊潮流方法

多能耦合三相不平衡主动配电网与输电网交互随机模糊潮流方法

DOI:10.13334/j.0258-8013.pcsee.190276
发表时间:2020
2

基于LS-SVM香梨可溶性糖的近红外光谱快速检测

基于LS-SVM香梨可溶性糖的近红外光谱快速检测

DOI:
发表时间:
3

组蛋白去乙酰化酶在变应性鼻炎鼻黏膜上皮中的表达研究

组蛋白去乙酰化酶在变应性鼻炎鼻黏膜上皮中的表达研究

DOI:10.16066/j.1672-7002.2021.06.013
发表时间:2021
4

贵州织金洞洞穴CO2的来源及其空间分布特征

贵州织金洞洞穴CO2的来源及其空间分布特征

DOI:
发表时间:2016
5

四川盆地东部垫江盐盆三叠系海相钾盐成钾有利区圈定:地球物理和地球化学方法综合应用

四川盆地东部垫江盐盆三叠系海相钾盐成钾有利区圈定:地球物理和地球化学方法综合应用

DOI:10.19762/j.cnki.dizhixuebao.2021191
发表时间:2021

洪啸吟的其他基金

批准号:59773007
批准年份:1997
资助金额:14.00
项目类别:面上项目
批准号:20074021
批准年份:2000
资助金额:17.00
项目类别:面上项目
批准号:59073127
批准年份:1990
资助金额:4.60
项目类别:面上项目
批准号:E0524318
批准年份:2005
资助金额:10.00
项目类别:专项基金项目
批准号:28870189
批准年份:1988
资助金额:4.00
项目类别:面上项目

相似国自然基金

1

高纵宽比核壳结构钛酸锶钡-聚合物复合材料的制备及界面特性研究

批准号:51672226
批准年份:2016
负责人:刘岗
学科分类:E0206
资助金额:62.00
项目类别:面上项目
2

原位低温激光沉积高Tc超导薄膜及其微细图形的激光刻蚀

批准号:69101005
批准年份:1991
负责人:安承武
学科分类:F0122
资助金额:4.00
项目类别:青年科学基金项目
3

基于同步辐射光刻的大深宽比微结构滚压印技术研究

批准号:50905173
批准年份:2009
负责人:李木军
学科分类:E0512
资助金额:20.00
项目类别:青年科学基金项目
4

针对高深宽比硅微结构等离子体低温刻蚀技术研究

批准号:50205020
批准年份:2002
负责人:卢德江
学科分类:E05
资助金额:23.00
项目类别:青年科学基金项目