β-C3N4超硬膜电弧-射频等离子CVD合成

本项目用等离子气相化学反应，多弧离子镀和直流磁控溅射方法研究氮化碳超硬膜合成，采用过渡层方法解决氮化碳附着力；强迫晶化技术使氮化碳生成结晶态；超晶格薄膜结构获得氮化碳复合膜的超高硬度；氮化碳的结构主要是β相、α相和立方相等硬质结晶相，成功地避免了石墨相的析出。氮化碳复合膜的合成工艺具有生长速率高、薄膜质量好，设备简单，是一条高效，优质合成氮化碳复合超硬薄膜的新方法，具有广阔的应用前景，适合批量化生产。