微机电系统所用材料与结构的拉伸测试方法研究

微尺度试样的静动态力学性能的研究是微机电系统等领域的基础问题。借助磁场对载流线圈作用精确控制拉力和平行板可变电容精确测位移的原理，采用现代高精度、低噪声的电子控制和记录技术，研究适用于微尺度试样的实时高精度静动态单轴拉伸的实验方法，建立可用于微机电系统的材料和结构力学性能测试的实验方法，并为微尺度力学研究提供实验手段。