纳米级薄膜膜厚测量技术的研究
基本信息
批准号：59275179
项目类别：面上项目
资助金额：5.20
负责人：黄平
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：1992
结题年份：1994
起止时间：1993-01-01 - 1994-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：郭炎,王慧
关键词：
***
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项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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