硅基发光器件是影响到微电子和光电子两大信息技术能否更进一步结合实现光电子单片集成的关键问题,本项目采用高转换效率的PERL(Passiveted Emitter Rear Locally Diffused Cell,钝化发射极及背面局部扩散)结构,设计并研制出与CMOS工艺兼容,高电功率/光功率转换效率的硅基发光管(Si-LED),为进一步设计研制全硅化单片光互连光接收机和光发射机奠定基础。
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数据更新时间:2023-05-31
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