高分辨率微机械电容式传感器及三轴惯性组合中的关键技术研究
基本信息
批准号：60506015
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：24.00
负责人：董林玺
学科分类：
依托单位：杭州电子科技大学
批准年份：2005
结题年份：2008
起止时间：2006-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：徐小良,刘国华,彭嵘,黄海云,胡江
关键词：
三轴传感器电容式传感器空气阻尼MEMS
结项摘要
研究带栅形槽和梳齿的横向运动的复杂微结构的空气滑膜阻尼，研究带孔或条的板间或条间的复杂微结构的空气压膜阻尼，高频时考虑空气的可压缩效应和惯性效应，低真空时考虑空气的滑移效应，从而建立两种空气阻尼的准确计算模型（误差<10％）。研究微机械工艺原因引起的电容极板不平行对高精度电容式微机械传感器的性能影响，并从工艺或传感器结构设计方面进行改进。利用研究结果制作高分辨率创新结构的微机械电容式传感器并进行三
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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