从原子水平上研究薄膜材料的表面与界面

第一子课题研究了异质衬底/薄膜系统和磁性多层膜。采用离子束辅助淀积薄膜方法，大大增强了薄膜与衬底的结合力，研究了四个系统的膜生长机制和界面结构。对磁性多层膜研究了原子尺度的膜厚变化对磁性的影响，第一个在Fe/Cu系统中发现磁矩150%的增强和在Fe/Al系统中的双周期结构。第二子课题首先采用高分辩电子能量损失谱弄清了金刚石膜（111）面和（100）面生长机制，得出并解释了晶面显露规律和原子氢和原子氧在生长中的作用，成功地进行了载能离子辅助室温下成膜实验。创造了低压形核和Si(+)束注入形核方法，得到高的形核出度。在Si(100)衬底上外延出D（100）和D（111）金刚石膜，最大面积达5×5μ（2）。相应地有理论工作配合。