低内应力类金刚石碳膜的研制
基本信息
批准号：59072076
项目类别：面上项目
资助金额：4.00
负责人：邹健梧
学科分类：
依托单位：中国科学院金属研究所
批准年份：1990
结题年份：1993
起止时间：1991-01-01 - 1993-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：胡魁义,宁晓光
关键词：
内应力类金刚石
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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