超疏水型非晶碳薄膜的低温等离子体制备与性能研究

固体表面的浸润性涉及到表面物理化学等方面的诸多科学问题，对仿生微观结构的研究促进了超疏水性表面技术的发展，同时，硬质透明的超疏水表面将在许多领域有着广泛的应用。超疏水型非晶碳薄膜在这方面显示出极大的优势：除了可通过低温等离子体技术获得超疏水性外，它还具有较好的化学稳定性，并且可以做到很高的硬度、耐磨性和良好的光透明性，因此，开展超疏水性非晶碳薄膜沉积，研究工艺、结构和综合性能关系，不仅有着很强的科学意义，也有着非常重要的应用价值。拟具体研究以下内容：1、研究表面微观结构和化学状态的调制方法，探索低温等离子体表面处理工艺对表面形貌结构和化学性质的影响规律，寻找对微米和纳米尺度表面形貌结构的控制手段；2、研究疏水性能的影响因素，分析表面结构、化学性质以及表面气体等微观环境，了解水在其上的浸润行为，设计超疏水性的表面结构，寻找各种性能协调兼备的超疏水非晶碳薄膜的制备途径。