金刚石膜高效抛光加工新技术研究
基本信息
批准号：59875014
项目类别：面上项目
资助金额：15.00
负责人：王成勇
学科分类：
依托单位：广东工业大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：郭钟宁,匡同春,朱炳森,于兆勤,张凤林,樊晶明,薛新民,袁慧,刘晓宁
关键词：
金刚石膜抛光电蚀加工
结项摘要
提出并研究金属涂覆金刚石膜表面，使金刚石膜成为导体，通过电蚀加工时金属涂覆层对金刚石的融蚀、金刚石的受热石墨化和汽化，实现金刚石膜高效抛光加工的新技术。研究金敉扛膊阈灾省⒌缡醇庸すひ盏榷越鸶帐づ坠饣怼⒓庸け渲什愫徒鸶帐さ毒咔邢餍阅艿鹊挠跋欤挥叛「咝坠夤ひ詹问６杂谔岣呓鸶帐ぜ庸に骄哂兄匾睦砺酆陀τ靡庖濉
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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