声流在非接触式超声马达中应用的研究

微型超声马达一直是微电子机械系统(MEMS)中的关键性元器件，其性能的改进是相关研究中的重点。近年的一个发展趋势是声流作为马达的驱动机制被引进到超声马达中。本项目通过实验与数值模拟相结合的方法来分析声流在非接触式超声马达中的应用，考察各种工作参数对其性能的影响，从而为非接触式超声马达的优化设计提供理论指导。在实验方面，首先合理设计出非接触式超声马达中定子和转子之间的流体层，研制出声表面波作为激励源的非接触式超声马达模型，测试其性能并考察不同工作参数对其性能的影响；在数值模拟方面，通过改变不同的工作参数来研究各种工作参数对此类马达工作性能的影响，从而为优化此类超声马达提供理论指导。