常压微波等离子体分解全氟化碳的基础研究

半导体生产中排放的全氟化碳(PFCs)具有很高的全球变暖势能值，为降低地球暖化趋势，削减PFCs排放成为全球急需解决的重大环境问题。比较研究中的燃烧、触媒和化学反应等治理方法，存在投资高、固体沉淀、触媒需更换、消耗反应剂等缺点。本项目采用常压微波等离子体，作用于含H20和O2的PFCs废气，产生OH和O等自由基，通过自由基化学反应和热化学反应将PFCs生成HF和CO2，HF被后处理装置吸收。本项目研究微波等离子体发生源的特性，包括与反应器的匹配特性和反应器的结构；诊断等离子体内生成的自由基；考察等离子体特性对PFCs分解率的影响；优化处理过程以提高PFCs分解率，考察整机的运行性能，使之适合大流量多台集中处理，形成节能、环境友好的应用技术。这将使我国在该领域上的研究处于国际先进的地位；为半导体工业可持续发展，克服国际公约中的环境壁垒做好技术储备；为地球环境改善做出有价值的贡献。