超分辨掩膜中功能纳米结构可控形成的动力学过程研究

基本信息
批准号:50872139
项目类别:面上项目
资助金额:35.00
负责人:王阳
学科分类:
依托单位:中国科学院上海光学精密机械研究所
批准年份:2008
结题年份:2011
起止时间:2009-01-01 - 2011-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:吴谊群,翟凤潇,黄欢,姜来新,张奎,李小怡
关键词:
超分辨掩膜纳米结构快速响应动力学过程
结项摘要

本项目将首次进行超分辨掩膜中功能纳米结构可控形成的动力学过程研究。通过直接测量激光诱导下超分辨功能纳米结构形成的时间分辨过程,结合变温和激光作用下光学及结构特性的非实时变化过程测量,区分、阐明超分辨掩膜材料工作机理中的光热结构变化过程和非热电子过程。分析掩膜材料动力学过程与超分辨信息存储中的写读速率、功率和稳定性之间的关系,建立掩膜材料实现超分辨的动态、微观机制模型。并基于此,发展新型快速响应掩膜材料,探索实现超快超分辨光记录,探讨掩膜材料实现超分辨的速度极限。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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