基于AFM沾笔刻蚀的纳米结构和纳米器件的制备、修饰及特性研究
基本信息
批准号：90406018
项目类别：重大研究计划
资助金额：100.00
负责人：李彦
学科分类：
依托单位：北京大学
批准年份：2004
结题年份：2008
起止时间：2005-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：汤子康,曹维孝,丁磊,李雪梅,潘伟,张莉,周薇薇,许军舰,叶剑挺
关键词：
纳米表征纳米结构纳电子纳米器件AFM沾笔刻蚀
结项摘要
利用AFM沾笔刻蚀对位置和形状、尺寸等高度可控的特点，通过化学反应的设计和表面性质的调制，制备各种同质和异质的纳米结构，并进而构筑纳米器件。探索适于纳米尺度物性测量的方法，对纳米结构和器件的电学、光学及光电性质进行表征和研究。利用沾笔刻蚀对纳米结构和器件进行定位的复合、氧化和修饰，研究其物性的变化，以实现通过结构改变来调制纳米结构和器件的物理性质。通过本项目的研究，希望能独立发展一套基于AFM沾笔
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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