化学蒸汽淀积薄膜材料制备技术的计算机模拟控制原理

基本信息
批准号:58870096
项目类别:面上项目
资助金额:3.00
负责人:王季陶
学科分类:
依托单位:复旦大学
批准年份:1988
结题年份:1990
起止时间:1989-01-01 - 1990-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:王焕杰,王永发
关键词:
化学蒸汽淀积计算机摸拟薄膜材料
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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