UMG硅衬底上垂直有序微纳硅孔阵列太阳电池研究

采用阳极氧化铝（AAO）模板结合金属催化化学刻蚀，在高纯冶金级（UMG）硅衬底上制备垂直有序的微纳硅孔阵列，经湿化学方法进行表面钝化处理后，在其上制备非晶硅/晶体硅异质结（HIT）结构的太阳电池。本项目所提出的这种太阳电池将UMG硅材料的低成本与纳米线太阳电池的高陷光高载流子收集特性和HIT太阳电池的优异界面钝化特性有机结合起来，能够成为制备低成本高效率硅太阳电池的有效途径。本项目重点研究UMG硅衬底上有序阳极氧化铝模版的形成机制，金属催化化学刻蚀UMG硅衬底的反应过程与微纳硅孔的形成机理，以及硅孔表面悬挂键钝化机制与钝化质量控制，最终在UMG硅衬底上制备出微纳硅孔阵列太阳电池原型器件。