弹性浮动研磨新技术及其金刚石研磨应用研究

本项目提出一种基于弹性浮动技术原理的研磨加工新方法，适用于硬脆材料的超精密表面加工。项目以高质量金刚石表面研磨为研究对象，所采用的弹性浮动研磨技术特点在于：传统超精密加工为提高抗干扰能力对系统(机床)总是提出高刚性设计要求，弹性浮动研磨则针对金刚石一类硬脆材料对微观冲击振动敏感的特点，研究如何将被加工对象置于弹性浮动体上，使微观加工过程因表面状况、加工条件或环境等变化所造成的扰动，亦即研磨系统对微观冲击振动的响应，得到有效抑制或衰减，达到高精度研磨或加工目的。项目研究采用精密流体轴承设计无位置传感器无刷直流电机主轴，采用音圈马达作为伺服驱动机构，设计和组成相应的超精密、稳定的小型研磨实验系统，验证和探讨弹性浮动研磨条件下，金刚石加工机理、系统和工艺参数影响、高质量表面研磨的条件。金刚石表面高精度研磨是科技产业的核心技术课题，也是我国科技产业发展的瓶颈。项目实施，具有方法创新、技术创新意义。