弹性电化超精密研磨方法及设备的研究

针对模具钢、不锈钢等材料对电化学、超声、机械研磨等三种加工方法所做的正交和全面复合实验表明：综合利用电化学加工的高效率、超声振动均化效应超精密研磨的低表面粗糙度特性的弹性电化学超精密研磨方法是实现模具型腔等高效率、光整加工的有效途径。使用自制的研磨抛光液及工具头，适当控制加工参数可以稳定地得到Ry≤0.03um的表面，其加工效率较现有的研磨方法提高2-3倍。在大量工艺研究的基础上，研制了可将上述工艺方法用于生产实际的小型弹性电化学研磨机。该机具有5个坐标运动，采用步进电机细分驱动，移动部件为滚珠丝杠和直线导轨，较好地解决了精度与经济性之间的予盾，可以满足小型模具型腔自由曲面的光整加工要求。