金属---半导体集成热堆结构及性质研究
基本信息
批准号：68876213
项目类别：面上项目
资助金额：4.00
负责人：卢建国
学科分类：
依托单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
批准年份：1988
结题年份：1991
起止时间：1989-01-01 - 1991-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：林成鲁,熊斌,任宗欣,王渭源
关键词：
半导体金属热堆性质激光与离子刻蚀应用
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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