微机械微波型元件与电路研究

研究微机械微波元件与电路的ＣＡＤ设计、有限元分析和各向异性与各向同性组合的硅刻蚀工艺。用与ＣＭＯＳ兼容的微机械加工技术研制１０ＧＨＺ以上带宽、低损耗、低色散的微型共面波导，悬浮微结构的nF级电感和pF级电容，一定Ｑ值的微波谐振器或滤波器，完成一种微波微电子机械系统设计。该研究在无线通信、微波测量等领域有广泛的应用前景。