荷能团簇离子冲击表面非线性效应和低损伤层研究及应用

利用荷能团簇成膜技术制备了单元素金属薄膜、氮化钛等复合物薄膜。此外，研究了离子轰击石墨等形成碳纳米结构物。得到了一些有意义的结果：制备了表面平整、硬度较高、摩擦系数低、耐磨损性能好的金黄色氮化钛涂层；且呈（220）择优取向，这一点与常规技术制得的不同。发现荷能团簇轰击有机物形成纳米线现象。团簇沉积制备的Si-C膜在室温下出现光致发光和退火后的光猝灭现象。研究了荷能团簇沉积制备的氮碳硬质薄膜，发现含有β相化合物。离子轰击石墨和聚乙烯获得了碳纳米管、碳多面体和小笼式碳团簇，并研究了其形成机制。