高分辨率非接触式粗糙度测量新技术的研究

提出利用F-P干涉型光纤传感器作为高分辨率非接触式表面粗糙度测量新技术。主要研究本饬糠椒ǖ幕纠砺郏馐韵低彻钩稍恚珼FB半导体光源技术，F-P干涉型光纤传感探头，ツ９庀斯饴芳际酰喔赏獠罴觳饧际酰植诙刃藕诺拇碛胂允炯际跫爸悄芑疐-P型光学轮廊仪样机等。属机械测试理论和传感技术前沿学科，有重要学术和实用意义。