高精度非接触式表面三维形貌测量系统的研究

基本信息
批准号:58870209
项目类别:面上项目
资助金额:4.00
负责人:张鄂
学科分类:
依托单位:上海交通大学
批准年份:1988
结题年份:1992
起止时间:1989-01-01 - 1992-05-01
项目状态: 已结题
项目参与者:游俊魁,严慧莉,金增伟
关键词:
表面形貌摈面粗糙度测量光学轮廓仪
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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