微图案化钛酸钡陶瓷薄膜的低温制备及其性能

本项目拟探索一种结合电子束刻蚀技术与纳米颗粒电泳沉积技术、在低温下制备微图案化BaTiO3陶瓷薄膜的新方法，研究微图案化BaTiO3陶瓷薄膜的性能、微结构和制备条件相互之间的关系。首先在制备粒径可调的BaTiO3纳米颗粒的基础上研究单颗粒分散的纳米颗粒悬浮液的制备。然后在用电子束刻蚀技术制得的具有微图案化模板的Pt/Ti/SiOx/Si基板上电泳沉积微图案化BaTiO3陶瓷薄膜。研究沉积过程中的控制因素（悬浮液体系和浓度、纳米颗粒大小、电动电位、电场强度、沉积时间等）及烧结条件对微图案化BaTiO3陶瓷薄膜的性能与结构的影响。本项目提出的低温制备微图案化BaTiO3陶瓷薄膜的新方法在制备其它微图案化功能材料中也有着广泛的应用前景，相关工作的展开具有重要的理论与实际意义，对相关微图案化材料和器件的研究与发展有着很大的促进作用。