MEMS设计自动化关键技术与系统研究

面向MEMS设计自动化，本项目包括三项关键技术研究：1. MEMS工艺流程与版图的自动设计；2.基于技能知识和过程虚拟的虚拟MEMS制造系统，着眼于虚拟加工出包含偏差的MEMS器件；3.柔性体振动问题的虚拟运行，着眼于柔性体多维、高时间分辨率的振动行为的虚拟运行，其中包含了器件瞬态行为，以期对MEMS可靠性研究提供帮助。最终将上述各项关键技术集成到一个MEMS设计系统中，利用一个加速度计的设计、工艺及动态行为建模与仿真验证本项目各关键技术的有效性。