碲镉汞硫化钝化特性及机理研究
基本信息
结项摘要
研究了碲镉汞钝化反应及金属钝化力学特性。采用电化学阳极硫化，硼化学热处理和阳极弧等离子喷镀等方法。水含量对硫钝与ZnS覆层间界面Te氧还反应有显著影响，且加速金属钝化层非晶相结构转化。ARXPS得出真空中Ar离子溅射能量增加使硫钝Te还原峰纵深增强并使氧化比值随极角增大趋降。金属表面钝层升温至630℃时晶化。Hg空位及Te可能是硫钝动力学的灵敏因素而钒杂质则使硼热处理层耐磨，其附着和声发射断裂特性显著增强。常规硫钝工艺已经成熟，但键、结构、介质及力学特性了解不够，MIS器件1/f器声，陷阱及暗电流控制尚不稳定。在Ⅲ—V多量子阱光探测迅速发展同时，继续深入碲镉汞及相关问题的基础研究有重要意义。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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