螺旋波高密度等离子体的宏观与微观参数研究

本项目首次在国内进行了螺旋波等离子体实验，并获得超过10（12）cm(-3)的高密度等离子体。建立了较完备的等离子体工艺在线研究系统，该系统可以在完成等离子体刻蚀、镀膜、表面处理等工艺的同时对入射到样品表面的离子进行质量与能量分析，而且保证不改变等离子体的环境。采用球栅阻滞场带通式能量分析器对螺旋波等离子体中离子能谱的测量，我们发现在螺旋波等离子体扩散区，离子能量有较宽的分布，我们提出了三种使离子能谱展宽的机制：1射频电压的调制，2等离子体密度的不均匀分布以及3离子-中性粒子共振电荷转移。在对不同离子的能量分布的检测中，我们发现不同离子的能量分布是非常不同的。为什么会这样，还需要做更细致的理论和实验的研究。