半主动广义热阻控制技术研究

本项目旨在发展一套半主动广义热阻的计算及控制理论，然后研制基于广义热阻控制的热功能模块，并开展热功能模块的应用研究，通过热功能模块控制超精密机电系统的热流场、温度场和位移场，最终达到热误差补偿的目的。主要研究内容包括：基于三维热量传递的半主动广义热阻计算理论，实现半主动广义热阻精确控制的理论及方法，基于半主动广义热阻控制的热功能模块应用研究。.本项目是超精密装配技术与微细加工技术相结合的研究课题，它的成功实施必将为超精密机电系统的热态特性研究奠定重要的理论基础，同时也为该领域提供一种原创性的技术手段。研究成果尤其适用于光刻机、扫描热显微镜、白光干涉仪等本身产生热源且要求实现超精密加工或检测的机电系统。