新型全离子离子源的研究
基本信息
结项摘要
本研究已完成了一台新型全离子离子源的研制工作。在这台源中，采用了工作在电子回旋共振条件的微波等离子体阴极，在源放电室结构的配置上巧妙地利用了氩离子的溅射机制。在一台源上实现了产生所需气、固态元素离子束的目的。和同类源相比[1][2]，结构相对简单，影响源寿命和引起源不稳定性的因素相对减少，因此，具有同类源无可比拟的优点。在引出电压为30KV情况下，可引出的氢、氦、氮、氧和氩离子流强度分别为32、27、16、16和7mA。当源的辅助工作气体为氩时，对于不同的金属，引出束流中金属离子的含量为3%-10%。为了推广使用，还需对该源继续进行一些改进和完善工作，以提高其长期工作的稳定性。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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