合金薄膜外延生长动力学及新型结构形成机理的研究

外延生长技术被广泛用来制备合金薄膜，由于合金薄膜具有通过原子种类和组分以及低维尺度剪裁结构的可能性，具有许多新结构和新性质，并可由此制备出具有优异性能的量子器件。在本项目中，我们将对合金薄膜外延生长的动力学进行研究，发展处理合金薄膜外延生长动力学的理论方法，揭示合金薄膜外延生长动力学的生长规律，计算生长动力学相图。探讨外延生长动力学各向异性对于结构生成的影响及可能产生的新的薄膜合金有序结构。探讨外延生长过程中化学有序和表面偏析的动力学竞争产生新型的有序结构的机制。探讨沉积率、温度、衬底、应变、表面台阶等生长条件对于合金薄膜体系外延生长动力学和有序结构的影响，揭示生长过程中控制非平衡生长的参数变化时，生长的结构由平衡结构向非平衡结构变化的规律。为发展新型低维结构提供新机制。