共振隧穿量子阱薄膜结构的压阻特性研究

超晶格量子阱薄膜材料中存在共振隧穿，共振隧穿的电流-电压特性随结构所承受内应力的变化而变化。通过微结构，可以将被测试的外力转化为超晶格量子阱薄膜结构内应力的变化。本项目将通过研究微加工工艺，在砷化镓基底上制作出微悬臂梁，梁上通过分子束外延并图形化的办法形成超晶格量子阱薄膜电阻结构，以悬臂梁- - "电阻"系统为具体研究对象，研究在不同外力作用下，超晶格量子阱薄膜共振隧穿的电流-电压（电阻）变化的各种特性：灵敏度、线性度、温度稳定性等，给出优化后的超晶格量子阱薄膜压阻效应的灵敏度曲线、线性度曲线以及温度稳定性曲线，从而为这种基于介观机理的压阻效应实现在力-电转换传感器件中的推广应用奠定基础。