Si-C-N超硬薄膜韧化途径与机制探索

超硬薄膜材料的韧性及其表征是重要且具挑战性的课题。本项目拟在气相沉积制备Si-C-N新型超硬薄膜材料的基础上，重点研究薄膜韧性变化规律及其影响因素，寻找薄膜韧性与硬度、弹性模量等其他力学性能的相关性。借助基体/薄膜体系的成份设计、薄膜纳米微观结构调控以及制备工艺优化，探索超硬薄膜韧化的可能途径与内在机制，建立超硬薄膜韧性与硬度、弹性模量和残余应力的定量数据关系，以期获得高硬度和高韧性协同增强的Si-C-N薄膜材料体系，为该类薄膜的进一步工业应用奠定理论基础，并对其他超硬薄膜材料韧化提供可资借鉴的理论指导。.本项目的完成将丰富和发展现有超硬薄膜材料的理论体系，增强我国在此领域的自主创新能力和国际领先水平。