稀土复化合物梯度光学薄膜的离子束制备工艺和应用研究
基本信息
批准号：59272087
项目类别：面上项目
资助金额：5.50
负责人：郑舒颖
学科分类：
依托单位：北京光电技术研究所
批准年份：1992
结题年份：1995
起止时间：1993-01-01 - 1995-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：韩金柱,严昭南,马霞,颜京,陈毅龙
关键词：
***
结项摘要
采用多离子束反应溅射和辅助镀膜技术，制备以Ce、Pr和Nd氟氧化物为主的稀土复化合物光学薄膜。以降低薄膜内应力和光学损耗为主要目标，开展稀土复化合物薄膜的制备工艺、光学性质和应用的研究。这种低损耗梯度薄膜材料在光电子、激光、有机光学、光学仪器以及能效涂层技术中有重要用途。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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