强流大面积气固混合脉冲离子源的研究

研究了气固混合放电原理，并研制出一台四组元气固混合脉冲离子源。它能给出气体离子、金属离子及它们的混合离子。在不破坏真空的前提下能给出四组不同金属和气体混合离子。在阳极到高压引出电极的漂移区，增加一轴向磁场，产生二次放电，对增加引出和束径有一定影响。对于不同材料在不同引出电压下，气体和金属放电弧流有一个最佳范围。调整引出束流只需改变放电频率即可，这样能使引出电压和放电弧流始终处于良好匹配状态，即引出效果最好。引出束流在阴极尺寸确定后主要决定材料。引出束流可达15至20ma。四组元气固混合源具有优良的性能，在推动离子束表面改性研究及工业应用起到一定作用。