基于空间重构算法的微尺度器件参数提取

以电学性能仿真计算为基础的虚拟实验室(VL)是实现VLSI设计的必要条件。仿真计算的精度取决于方程的数值计算精度，器件模型的精度以及模型参数的准确度。VL常用的SPICE软件具有足够的数值精度，SPICE嵌入的BSIM模型也足够精确，制约仿真精度的通常是器件参数的准确程度，特别是对深亚微米器件，模型参数更多，函数形式更复杂，愈发增加了准确提取参数的难度。.参数提取有两种方式:全局提取和分步提取。全局提取存在函数复杂，局部极小点等问题，而传统算法难于解决这样的问题。分步提取－分别提取几个参数子集，对非物理参数的提取过程，因为初始猜值的任意性，容易会陷入局部极小的麻烦。本项目根据S3理论[11](Search Space Smoothing)，并针对模型参数提取的特点，引入双重控制因子来改变目标搜索空间，从而为解决模型参数提取中存在的边界非线性和参数互相嵌套等问题，提供了一条新颖的解决途径。