离子注入生物诱变机理及生物效应研究

开发出MOCVD工艺模拟系统。在开发过程中，主要侧重于：1、寻求尽可能完善、精确、实用的理论模型；2、寻求快速有效的数值计算方法；3、系统的通用性和界面的友好性。以使系统更具实用性，满足用户的需要。这个复杂庞大的系统包含三个子系统：反应室流体力学模拟系统，用于计算反应室内气流速度，温度，压力分布；化学反应热力学模拟系统，用于计算化学反应相图；沉积过程力学模拟系统，用于计算沉积速率。它们可以各自独立运行，分别进行模拟，还可以联立运行，实现对MOCVD进行全方位整体模拟。这套系统已具备相当好的模拟设计能力，但还仅限于模拟平衡或准平衡体系（如GaAs），不能用于GaN一类的非平衡体系。关于非平衡体系的MOCVD工艺模拟研究，是我们下一步的研究目标。