硅薄膜的低温(350'C)外延生长技术及其机理研究
基本信息
批准号：69006404
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：3.00
负责人：韩高荣
学科分类：
依托单位：浙江大学
批准年份：1990
结题年份：1992
起止时间：1991-01-01 - 1992-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：李乔,张飞鹏,韩伟强
关键词：
外延生长硅薄膜
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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