射频感应耦合等离子体中放电模式转换机理的研究

本项目针对平面线圈感应耦合等离子体（ICP）的放电过程，建立反应腔室中多物理、化学过程的非线性自洽耦合模型，采用流体力学/蒙特卡罗混合模拟方法对容性耦合和感性耦合两种放电的模式转换机理进行研究，并利用Langmiur探针、发射光谱等诊断方法对放电模式转换现象进行观测，以验证理论模型和数值模拟方法的可靠性。本项目将重点探讨工作气体的化学反应、外界网络的匹配、射频偏压及中性气体的流动等因素对放电模式转换过程中电子密度、电子温度及电子能量分布等物理量跳变行为的影响，确定发生模式转换时对应的放电参数范围，并期望研究结果能对实际的等离子体工艺过程提供必要的参数选择依据。

本项目针对平面线圈感应耦合等离子体的放电过程，建立了反应腔室中多物理、化学过程的非线性自洽耦合模型，采用流体力学模拟方法对容性耦合和感性耦合两种放电的模式转换机理进行了研究，并利用Langmuir探针、发射光谱等诊断方法对放电模式转换现象进行了观测，分析了工作气体的化学反应、外界网络的匹配、射频偏压等因素对放电模式转换过程中电子密度、电子温度等物理量跳变行为的影响。. 在本项目执行期间，本课题组发表论文15篇，其中SCI收录的期刊9篇，会议论文6篇；获得软件著作权1份；培养研究生7人，其中博士研究生4人，硕士研究生3人；承办大型国际会议1次。