仿拟寄生蝇的MEMS指向性水听器声压梯度敏感结构研究

水听器是被动声探测装置中水声信号接收的关键器件。水听器指向性的增强提高了其抗噪声干扰以及对微弱信号的探测能力。本项目的研究目的在于以拟寄生蝇听觉器官为仿生对象，实现MEMS水听器仿生声压梯度敏感结构，以期在减小水听器体积和重量的同时，增强其指向性，提高其灵敏度。主要研究内容包括：微小尺度下单个水听器指向性的仿生原理，工作于流体环境中MEMS声学器件的声-静电-结构-流体多域耦合行为建模仿真分析方法以及器件优化设计技术，MEMS水听器声压梯度敏感结构的微细加工实现方法。本项研究旨在为MEMS技术在水声领域的应用提供具有普遍意义的理论和技术基础，对于提高水听器的测量精度、促进水声设备的小型化有着重要的意义。