利用在有限控制体算法基础上发展起来的计算程序对一些特定条件和位形的熔液法晶体生长流场进行数值模拟得到了对实际生长工艺有参考价值的结果,此手段可以推广应用到更大的范围,通过对重力加速度调制对有本底流动的具纳特热不稳定性影响的理论研究.初步探讨了机械振动对晶体生长中流动行为的影响.作为国内首次开展的超重对晶体生长影响的课题研究,本项目实现了用大型离心机模拟超重环境生长半导体单晶的技术,所生长的砷化镓单晶的杂质条纹缺陷得到改善,但位错密度增大,由锡熔体模拟实验发现了离心机产生的科氏力大小和方向对稳定熔体流场和抑制熔体内的温度脉动有直接影响的重要结果,有必要对异常重力和科氏力环境下材料过程继续深入研究
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数据更新时间:2023-05-31
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