微/纳机械器件的辐射损伤及其机理研究

本项目将致力于射线辐照对MEMS和NEMS器件的损伤的研究。以微/纳谐振器为研究对象，研究射线辐照下器件电性能、力电藕荷、机械性能等的改变，以及性能改变与器件尺度之间的关系，并研究产生这些改变的原因，以理解损伤机理，为今后采取适当措施提高器件抗辐射能力提供理论依据。通过研究可以揭示出MEMS/NEMS器件抗辐射特性与电子器件的异同点，从而更深入地理解辐射对材料特性，特别是机械特性的影响。另外通过对辐射损伤机理的理解，以及一定的对比实验，为今后研究MEMS和NEMS器件的抗辐射特性研究提供便利的实验方法。通过项目研究，可以切实推进MEMS和NEMS器件进入航天领域的步伐。